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詳細介紹
一、概述
SR-M 針對特定微小區(qū)域，可提供微米級的聚焦光斑，同時利用顯微物鏡定位測量點，從而獲取精準位置的厚度表征結果。
■ 光斑大小可進行定制，最小可達到10um；
■ 非接觸、非破壞測量；
■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析；
■ 配置靈活、支持定制化
二、產品特點
■ 采用高強度鹵素光源，光源穩(wěn)定性好；
■ 采用光機電高度整合一體化設計，體積小，操作簡便；
■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層；
三、產品應用
顯微膜厚儀廣泛應用于各種介質保護膜、有機薄膜、無機薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測量。
技術參數
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