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首頁(yè)-技術(shù)文章-反射膜厚儀在使用時(shí)應(yīng)關(guān)注哪些方面?

反射膜厚儀在使用時(shí)應(yīng)關(guān)注哪些方面?

更新時(shí)間:2025-08-29      點(diǎn)擊次數(shù):144
反射膜厚儀是一種利用光譜反射原理測(cè)量薄膜厚度和折射率的精密儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、平板顯示、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。

特點(diǎn):

非破壞性測(cè)量
無(wú)需接觸或損傷樣品,可對(duì)成品、半成品進(jìn)行多次復(fù)測(cè),避免樣品損耗。

高精度與寬量程

精度:常規(guī)型號(hào) ±2nm~±5nm;

量程:覆蓋 1nm至數(shù)百微米,部分型號(hào)支持多層膜測(cè)量。

快速高效
單次測(cè)量時(shí)間短,簡(jiǎn)易款約 0.1~1 秒,分光法約 3~5 秒,可滿足生產(chǎn)線 “在線檢測(cè)” 需求。

操作便捷
內(nèi)置常見材料的折射率數(shù)據(jù)庫(kù),無(wú)需手動(dòng)輸入?yún)?shù);部分型號(hào)支持 “一鍵測(cè)量”,無(wú)需專業(yè)光學(xué)知識(shí)即可操作。

環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)
工業(yè)級(jí)型號(hào)具備防塵、防震設(shè)計(jì),可在車間環(huán)境穩(wěn)定工作;實(shí)驗(yàn)室型號(hào)支持恒溫控制(±0.5℃),進(jìn)一步提升數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。

反射膜厚儀的使用注意事項(xiàng):

樣品預(yù)處理:確保樣品表面清潔(無(wú)灰塵、油污),否則會(huì)影響反射光信號(hào),導(dǎo)致測(cè)量誤差;

環(huán)境控制:實(shí)驗(yàn)室高精度測(cè)量需避免強(qiáng)光直射、氣流擾動(dòng),工業(yè)場(chǎng)景需遠(yuǎn)離振動(dòng)源;

定期校準(zhǔn):使用標(biāo)準(zhǔn)膜厚樣品每月校準(zhǔn)一次,確保儀器精度;

參數(shù)匹配:測(cè)量前需確認(rèn)薄膜折射率、基底類型是否與儀器設(shè)置一致。

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